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Elwenspoek, Miko, 1948-,

Mechanical microsensors / M. Elwenspoek, R.J. Wiergerink - 295 páginas - Microtechnology and MEMS .

ISBN: 3540675825 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Detectores--Diseño y construccion
Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción
Transductores
Silicio
Sistemas microelectromecánicos

LC Class. No.: TK7875 / E58

Dewey Class. No.: 681/.2