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Run-to-run control in semiconductor manufacturing / edited by James Moyne, Enrique del Castillo, Arnon Max Hurwitz - 348 páginas : ilustraciones ;

ISBN: 0-8493-1178-0 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Diseño y construcción
Industria de semiconductores--Control de la produccion
Encapsulado electrónico
Administración de la producción

LC Class. No.: TK7871.85 / R85