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Madou, Marc J.,

Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization / Marc J. Madou - 2nd ed. - 723 páginas, [16] páginas de láminas : hojas (algunas a color)

ISBN: 0849308267 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Microelectrónica
Circuitos integrados--Diseño y construcción
Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción
Mecanizado
Encapsulado microelectrónico
Láseres--Aplicaciones industriales

LC Class. No.: TK7836 / M33 2002

Dewey Class. No.: 621.3815/2