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Scientific wet process technology for innovative LSI/FPD manufacturing / editor, Tadahiro Ohmi - 386 páginas : ilustraciones

ISBN: 0849335434 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Semiconductores--Diseño y construcción
Semiconductores--Limpieza
Circuitos integrados--Diseño y construcción

LC Class. No.: TK7871.85 / S355

Dewey Class. No.: 621.3815/2