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MEMS / edited by Mohamed Gad-El-Hak - 2nd ed. - volúmenes : ilustraciones - The MEMS handbook Mechanical engineering series . - Mechanical engineering series .

Contenido: Introduction and fundamentals -- Design and fabrication -- Applications

ISBN: 0-8493-2106-9 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Sistemas microelectromecánicos
Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción
Microfabricación

LC Class. No.: TK7875 / M45 2006

Dewey Class. No.: 621.381