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Sherer, J. Michael, 1958-,

Semiconductor industry : wafer fab exhaust management / J. Michael Sherer - 194 páginas

ISBN: 1574447203 (papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Láminas semiconductoras--Diseño y construcción
Industria de semiconductores
Compuestos orgánicos volátiles--Aspectos ambientales
Aire--Purificación--Innovaciones tecnológicas

LC Class. No.: TK7871.85 / S4347

Dewey Class. No.: 621.3815/2/0286