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Lieberman, Michael A.,

Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg - 2nd ed. - 757 páginas

ISBN: 0471720011

Subjects--Topical Terms:
Dinámica del plasma
Peliculas delgadas--Superficies
Ataque por plasma

LC Class. No.: QC718.5D9 / L54 2005