Microlithography :
Microlithography : science and technology /
edited by Kazuaki Suzuki, Bruce W. Smith.
- 2nd ed.
- 848 páginas : ilustraciones
- Optical science and engineering ; 126 .
9780824790240 (papel alcalino) 0824790243 (papel alcalino)
Microlitografía--Aplicaciones industriales
Circuitos integrados--Máscaras
Semiconductores complementarios de óxido metálico--Diseño y construcción
Procesos de manufactura
TK7836 / M534 2007
621.3815/31
9780824790240 (papel alcalino) 0824790243 (papel alcalino)
Microlitografía--Aplicaciones industriales
Circuitos integrados--Máscaras
Semiconductores complementarios de óxido metálico--Diseño y construcción
Procesos de manufactura
TK7836 / M534 2007
621.3815/31