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MEMS : fundamental technology and applications / edited by Vikas Choudhary, Krzysztof Iniewski - xxii, 456 páginas : ilustraciones - Devices, circuits, and systems .

ISBN: 9781466515819 (empastado, cubierta dura) 1466515813 (empastado, cubierta dura)

Subjects--Topical Terms:
Sistemas microelectromecánicos
Encapsulado microelectrónico

LC Class. No.: TK7875 / M4545

Dewey Class. No.: 621.381