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Makabe, Toshiaki,

Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic - Second edition - xxxv, 376 páginas : ilustraciones

ISBN: 9781482222050 (encuadernado en tela : papel alcalino)

Subjects--Topical Terms:
Ingeniería del plasma

LC Class. No.: TA2020 / M35 2015