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Franssila, Sami,

Introduction to microfabrication / Sami Franssila - 2nd. edition - xiv, 518 páginas : ilustraciones

ISBN: 0470749830 9780470749838

Subjects--Topical Terms:
Sistemas microelectromecánicos
Aparatos e instrumentos electrónicos
Microfabricación

LC Class. No.: TK7875 / F73 2010