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Enabling technology for MEMS and nanodevices / H. Baltes, O. Brand, G.K. Fedder, C. Hierold, J.G. Korvink, O. Tabata (eds.) - xii, 427 páginas : ilustraciones - Advanced micro & nanosystems ; v. 1 .

ISBN: 9783527334988 9783527675043

Subjects--Topical Terms:
Sistemas microelectromecánicos
Microelectrónica
Nanotecnología

LC Class. No.: TK7875 / E59