Diseño de un microsensor para deteccion en el espectro infrarrojo
Ramirez Sanchez, Eduardo E.
Diseño de un microsensor para deteccion en el espectro infrarrojo - Mexico : El autor, 2006 - 132 p. : il.
Tesis Maestria (Maestria en Ingenieria Electrica)-UNAM, Facultad de Ingenieria
Resumen el Microsensor el Microcantilever Funcionalidad Intriseca Multifacetica Modo Dinamico Modo Estatico II. Fundamentos y Tipos de Sensores Infrarrojos la Radiacion Infrarroja Detectores Infrarrojos Tipos de Detectores Infrarrojos Detectores Infrarrojos, Formatos y Arquitecturas Deteccion de Brazas III. Dispositivo y Modelado el Microsensor Infrarrojo Materiales Metodo Analitico Ecuacion de Eulerr-bernulli Comportamiento Termomecanico Esfuerzo Inducido Temicamente Sensibilidad Sensibilidad del Microcantilever IV. Lector de Salida Lector Piezorresistivo Piezorresistividad Geometria del Piezorresistor Esfuerzo en el Plano de un Microcantilever Polisilicio Señal Minima Detectable el Lector de Salida Resolucion Fuentes de Ruido Esfuerzo en el Plano Esfuerzo de Superficie Esfuerzo de Superfice en un Cantilever de una Capa V. Geometria, Trazado y Mascaras Flujo del Proceso VI. Diseño y Simulacion Dimensiones y Desempeño Esperado Dimensiones Modelo de Elemento Finito Propuesta Para una Mejor Sensibilidad VII. El Sensor de Brazas el Microcantilever Como Sensor de Brazas Resumen de las Caracteristicas del Sensor conclusiones
Diseño de un microsensor para deteccion en el espectro infrarrojo - Mexico : El autor, 2006 - 132 p. : il.
Tesis Maestria (Maestria en Ingenieria Electrica)-UNAM, Facultad de Ingenieria
Resumen el Microsensor el Microcantilever Funcionalidad Intriseca Multifacetica Modo Dinamico Modo Estatico II. Fundamentos y Tipos de Sensores Infrarrojos la Radiacion Infrarroja Detectores Infrarrojos Tipos de Detectores Infrarrojos Detectores Infrarrojos, Formatos y Arquitecturas Deteccion de Brazas III. Dispositivo y Modelado el Microsensor Infrarrojo Materiales Metodo Analitico Ecuacion de Eulerr-bernulli Comportamiento Termomecanico Esfuerzo Inducido Temicamente Sensibilidad Sensibilidad del Microcantilever IV. Lector de Salida Lector Piezorresistivo Piezorresistividad Geometria del Piezorresistor Esfuerzo en el Plano de un Microcantilever Polisilicio Señal Minima Detectable el Lector de Salida Resolucion Fuentes de Ruido Esfuerzo en el Plano Esfuerzo de Superficie Esfuerzo de Superfice en un Cantilever de una Capa V. Geometria, Trazado y Mascaras Flujo del Proceso VI. Diseño y Simulacion Dimensiones y Desempeño Esperado Dimensiones Modelo de Elemento Finito Propuesta Para una Mejor Sensibilidad VII. El Sensor de Brazas el Microcantilever Como Sensor de Brazas Resumen de las Caracteristicas del Sensor conclusiones