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Resolution enhancement techniques in optical lithography / Alfred Kwok-Kit Wong
Tipo de material:
TextoIdioma: ENG Series Tutorial texts in optical engineering ; v. TT 47Editor: Bellingham, Washington : SPIE, c2001Descripción: xvii, 214 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 0819439959 (rustica)Tema(s): Circuitos integrados -- Diseño y construcción | MicrolitografíaClasificación CDD: 621.3815/31 Clasificación LoC:TK7874 | W65
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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Libros
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Libros Libros | General | TK7874 W65 (Navegar estantería(Abre debajo)) | 1 | Disponible | 175980 |
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