Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / Marc J. Madou
Tipo de material:
TextoEditor: Boca Raton, Florida : Taylor & Francis, 2012Edición: 3rd edDescripción: 3 volúmenes : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781420055115 (v. 1. : empastado, cubierta dura); 9781420055191 (v. 2. : empastado, cubierta dura); 9781420055160 (v. 3. : empastado, cubierta dura)Tema(s): Sistemas microelectromecánicos | Sistemas nanoelectromecánicos | Microfluídica | Física del estado sólidoClasificación CDD: 620/.5 Clasificación LoC:TK7875 | M33 2012
Contenidos:
v. 1. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology -- v. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology -- v. 3. From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS Manufacturing Techniques and Applications
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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v. 1. Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology -- v. 2. Manufacturing techniques for microfabrication and nanotechnology -- v. 3. From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS Manufacturing Techniques and Applications
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