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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic
Tipo de material:
TextoEditor: Boca Raton : CRC Press, 2015Edición: Second editionDescripción: xxxv, 376 páginas : ilustracionesTipo de contenido: texto Tipo de medio: sin medio Tipo de portador: volumenISBN: 9781482222050 (encuadernado en tela : papel alcalino)Tema(s): Ingeniería del plasmaClasificación LoC:TA2020 | M35 2015
| Tipo de ítem | Biblioteca actual | Colección | Clasificación | Copia número | Estado | Fecha de vencimiento | Código de barras | Reserva de ítems |
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