TY - BOOK AU - Chang,C.Y. AU - Sze,S.M. TI - ULSI devices SN - 0471240672 (papel alcalino) AV - TK7874.76 U54 U1 - 621.39/5 21 PY - 2000/// CY - New York PB - Wiley KW - Circuitos integrados KW - Ultra integraciĆ³n a gran escala KW - Semiconductores N1 - "A Wiley-Interscience publication" ER -