TY  - BOOK
AU  - 
TI  - MEMS and MOEMS technology and applications
T2  - SPIE Press monograph
SN  - 0819437166
AV  - TK7875 R35
U1  - 621.381 21
PY  - 2000///
CY  - Bellingham, Washington
PB  - SPIE Optical Engineering
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Dispositivos optoelectrónicos
ER  -