Elwenspoek, Miko,  1948-, <br/><br/>
Mechanical microsensors / 
M. Elwenspoek, R.J. Wiergerink 
 - 295 páginas 
 - Microtechnology and MEMS .
<br/><br/><label>ISBN: </label>3540675825 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Detectores--Diseño y construccion<br/>Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción<br/>Transductores<br/>Silicio<br/>Sistemas microelectromecánicos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / E58 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>681/.2