TY  - BOOK
AU  - Elwenspoek,Miko
AU  - Wiegerink,Remco J.
TI  - Mechanical microsensors
T2  - Microtechnology and MEMS
SN  - 3540675825 (papel alcalino)
AV  - TK7875 E58
U1  - 681/.2 21
PY  - 2001///
CY  - New York
PB  - Springer Verlag
KW  - Detectores
KW  - Diseño y construccion
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Diseño y construcción
KW  - Transductores
KW  - Silicio
ER  -