TY  - BOOK
AU  - Moyne,James
AU  - Del Castillo,Enrique
AU  - Hurwitz,Arnon Max
TI  - Run-to-run control in semiconductor manufacturing
SN  - 0-8493-1178-0 (papel alcalino)
AV  - TK7871.85 R85
PY  - 2001///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - CRC Press
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
KW  - Industria de semiconductores
KW  - Control de la produccion
KW  - Encapsulado electrónico
KW  - Administración de la producción
ER  -