Gardner, J. W. 1958-

Microsensors, MEMS, and smart devices / Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim - xvii, 503 páginas : ilustraciones

047186109X (papel alcalino)


Sistemas microelectromecánicos
Detectores
Sistemas de control inteligente

TK7875 / G37

621.381