TY  - BOOK
AU  - Gardner,J.W.
AU  - Varadan,V.K.
AU  - Awadelkarim,Osama O.
TI  - Microsensors, MEMS, and smart devices
SN  - 047186109X (papel alcalino)
AV  - TK7875 G37
U1  - 621.381 21
PY  - 2001///
CY  - Chichester
PB  - J. Wiley
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Detectores
KW  - Sistemas de control inteligente
ER  -