Madou, Marc J., <br/><br/>
Fundamentals of microfabrication :  the science of miniaturization / 
Marc J. Madou 
 - 2nd ed. 
 - 723 páginas, [16] páginas de láminas :  hojas (algunas a color) 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0849308267 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Microelectrónica<br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción<br/>Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción<br/>Mecanizado<br/>Encapsulado microelectrónico<br/>Láseres--Aplicaciones industriales
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7836  / M33 2002 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2