TY  - BOOK
AU  - Madou,Marc J.
TI  - Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization 
SN  - 0849308267 (papel alcalino)
AV  - TK7836 M33 2002
U1  - 621.3815/2 21
PY  - 2002///
CY  - Boca Raton
PB  - CRC Press
KW  - Microelectrónica
KW  - Circuitos integrados
KW  - Diseño y construcción
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Mecanizado
KW  - Encapsulado microelectrónico
KW  - Láseres
KW  - Aplicaciones industriales
ER  -