Levinson, Harry J., <br/><br/>
Principles of lithography / 
Harry J. Levinson 
 - x, 373 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0819440450 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción<br/>Microlitografía
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874  / L49 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/31