TY  - BOOK
AU  - Levinson,Harry J.
TI  - Principles of lithography
SN  - 0819440450
AV  - TK7874 L49
U1  - 621.3815/31 21
PY  - 2001///
CY  - Bellingham, Washington
PB  - SPIE
KW  - Circuitos integrados
KW  - Diseño y construcción
KW  - Microlitografía
ER  -