TY  - BOOK
AU  - Varadan,V.K.
AU  - Jiang,Xiaoning
AU  - Varadan,V.V.
TI  - Microstereolithography and other fabrication techniques for 3D MEMS
SN  - 0-471-52185-X
AV  - TK7875 V37
U1  - 621.381 21
PY  - 2001///
CY  - Chichester
PB  - J. Wiley
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Diseño y construcción
KW  - Microlitografía
KW  - Sistemas de presentación tridimensional
ER  -