Allen, James J., <br/><br/>
Micro electro mechanical system design / 
James J. Allen 
 - 465 páginas :  ilustraciones 
 - Mechanical engineering ;  191 .
<br/><br/><label>ISBN: </label>0824758242 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción<br/>Diseño en ingeniería
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK153  / A55 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621