TY  - BOOK
AU  - Allen,James J.
TI  - Micro electro mechanical system design
T2  - Mechanical engineering
SN  - 0824758242 (papel alcalino)
AV  - TK153 A55
U1  - 621 22
PY  - 2005///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - Taylor & Francis
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Diseño y construcción
KW  - Diseño en ingeniería
ER  -