Scientific wet process technology for innovative LSI/FPD manufacturing / 
editor, Tadahiro Ohmi 
 - 386 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0849335434 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construcción<br/>Semiconductores--Limpieza<br/>Circuitos integrados--Diseño y construcción
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / S355 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2