TY  - BOOK
AU  - Jackson,Mark J.
TI  - Microfabrication and nanomanufacturing
SN  - 0824724313
AV  - TK7836 M52
U1  - 620/.5 22
PY  - 2005///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - Taylor & Francis
KW  - Microelectrónica
KW  - Circuitos integrados
KW  - Diseño y construcción
KW  - Sistemas microelectromecánicos
ER  -