MEMS / 
edited by Mohamed Gad-El-Hak 
 - 2nd ed. 
 - volúmenes :  ilustraciones 
 - The MEMS handbook Mechanical engineering series .
 - Mechanical engineering series .
<br/><br/>Contenido: Introduction and fundamentals -- Design and fabrication -- Applications 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0-8493-2106-9 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos<br/>Sistemas microelectromecánicos--Diseño y construcción<br/>Microfabricación
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / M45 2006 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.381