TY  - BOOK
AU  - Gad-el-Hak,Mohamed
TI  - MEMS
T2  - The MEMS handbook
SN  - 0-8493-2106-9 (papel alcalino)
AV  - TK7875 M45 2006
U1  - 621.381 22
PY  - 2006///-
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - CRC Press/Taylor & Francis
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Diseño y construcción
KW  - Microfabricación
N1  - Contenido: Introduction and fundamentals -- Design and fabrication -- Applications
ER  -