Liang, Hong, <br/><br/>
Tribology in chemical-mechanical planarization / 
Hong Liang, David Craven 
 - 185 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0824725670 (pape alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Tribología<br/>Esmerilado
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TJ1075  / L53 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.9/2