TY  - BOOK
AU  - Liang,Hong
AU  - Craven,David R.
TI  - Tribology in chemical-mechanical planarization
SN  - 0824725670 (pape alcalino)
AV  - TJ1075 L53
U1  - 621.9/2 22
PY  - 2005///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - Taylor & Francis
KW  - Tribología
KW  - Esmerilado
ER  -