TY  - BOOK
AU  - Machlin,E.S.
TI  - Materials science in microelectronics
AV  - TK7871.15F5 M37 2005
PY  - 2005///-
CY  - Amsterdam
PB  - Elsevier
KW  - Películas delgadas
KW  - Aplicaciones industriales
KW  - Microelectrónica
KW  - Dispositivos optoelectrónicos
KW  - Materiales
N1  - Contenido: v.1. The relationship between thin film proceessing and structure -- v.2. The effects of structure on properties in thin films
ER  -