Sherer, J. Michael,  1958-, <br/><br/>
Semiconductor industry :  wafer fab exhaust management / 
J. Michael Sherer 
 - 194 páginas 
<br/><br/><label>ISBN: </label>1574447203 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Láminas semiconductoras--Diseño y construcción<br/>Industria de semiconductores<br/>Compuestos orgánicos volátiles--Aspectos ambientales<br/>Aire--Purificación--Innovaciones tecnológicas
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7871.85  / S4347 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2/0286