TY  - BOOK
AU  - Sherer,J.Michael
TI  - Semiconductor industry: wafer fab exhaust management 
SN  - 1574447203 (papel alcalino)
AV  - TK7871.85 S4347
U1  - 621.3815/2/0286 22
PY  - 2005///
CY  - Boca Raton
PB  - CRC Press/Taylor & Francis
KW  - Láminas semiconductoras
KW  - Diseño y construcción
KW  - Industria de semiconductores
KW  - Compuestos orgánicos volátiles
KW  - Aspectos ambientales
KW  - Aire
KW  - Purificación
KW  - Innovaciones tecnológicas
ER  -