TY  - BOOK
AU  - Lieberman,Michael A.
AU  - Lichtenberg,Allan J.
TI  - Principles of plasma discharges and materials processing
SN  - 0471720011
AV  - QC718.5D9 L54 2005
PY  - 2005///
CY  - New York
PB  - J. Wiley
KW  - Dinámica del plasma
KW  - Peliculas delgadas
KW  - Superficies
KW  - Ataque por plasma
ER  -