Bowen, David Keith,  1940-, <br/><br/>
X-ray metrology in semiconductor manufacturing / 
D. Keith Bowen, Brian K. Tanner 
 - 279 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0849339286 (papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Semiconductores--Diseño y construcción--Control de calidad<br/>Circuitos integrados--Medición<br/>Láminas semiconductoras--Inspección<br/>Rayos X--Difracción<br/>Fluoroscopia
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7874.58  / B68 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815/2