TY  - BOOK
AU  - Bowen,David Keith
AU  - Tanner,B.K.
TI  - X-ray metrology in semiconductor manufacturing
SN  - 0849339286 (papel alcalino)
AV  - TK7874.58 B68
U1  - 621.3815/2 22
PY  - 2006///
CY  - Boca Raton, Florida
PB  - CRC Press/Taylor & Francis
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
KW  - Control de calidad
KW  - Circuitos integrados
KW  - Medición
KW  - Láminas semiconductoras
KW  - Inspección
KW  - Rayos X
KW  - Difracción
KW  - Fluoroscopia
ER  -