Liu, Chang, <br/><br/>
Foundations of MEMS / 
Chang Liu 
 - xxii, 530 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0131472860 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / L39