Jackson, Mark J., Micro and nanomanufacturing / Mark J. Jackson - x, 699 páginas : ilustraciones ISBN: 9780387258744 (empastado, cubierta dura) 0387258744 (empastado, cubierta dura) Subjects--Topical Terms: MicrofabricaciónNanotecnología LC Class. No.: TK7836 / J33 Dewey Class. No.: 620/.5