TY  - BOOK
AU  - Van Zant,Peter
TI  - Microchip fabrication: a practical guide to simiconductor processing 
SN  - 0071356363
AV  - TK7871.85 V35 2000
PY  - 2000///
CY  - New York
PB  - McGraw-Hill
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
ER  -