Makabe, Toshiaki, <br/><br/>
Plasma electronics :  applications in microelectronic device fabrication / 
Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic 
 - Second edition 
 - xxxv, 376 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9781482222050 (encuadernado en tela : papel alcalino) 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Ingeniería del plasma
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TA2020  / M35 2015