TY  - BOOK
AU  - Makabe,Toshiaki
AU  - Petrović,Z.
TI  - Plasma electronics: applications in microelectronic device fabrication 
SN  - 9781482222050 (encuadernado en tela : papel alcalino)
AV  - TA2020 M35 2015
PY  - 2015///
CY  - Boca Raton
PB  - CRC Press
KW  - Ingeniería del plasma
ER  -