Franssila, Sami, <br/><br/>
Introduction to microfabrication / 
Sami Franssila 
 - 2nd. edition 
 - xiv, 518 páginas :  ilustraciones 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0470749830 9780470749838 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos<br/>Aparatos e instrumentos electrónicos<br/>Microfabricación
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / F73 2010