TY  - BOOK
AU  - Franssila,Sami
TI  - Introduction to microfabrication
SN  - 0470749830
AV  - TK7875 F73 2010
PY  - 2010///
CY  - Chichester, West Sussex
PB  - J. Wiley & Sons
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Aparatos e instrumentos electrónicos
KW  - Microfabricación
ER  -