TY - BOOK AU - Ramirez Sanchez,Eduardo E. AU - Svyryd,Volodymyr ED - Universidad Nacional Autonoma de Mexico. TI - Diseño de un microsensor para deteccion en el espectro infrarrojo PY - 2006/// CY - Mexico PB - El autor N1 - Tesis Maestria (Maestria en Ingenieria Electrica)-UNAM, Facultad de Ingenieria; Resumen; el Microsensor; el Microcantilever; Funcionalidad Intriseca Multifacetica; Modo Dinamico; Modo Estatico; II. Fundamentos y Tipos de Sensores Infrarrojos; la Radiacion Infrarroja; Detectores Infrarrojos; Tipos de Detectores Infrarrojos; Detectores Infrarrojos, Formatos y Arquitecturas; Deteccion de Brazas; III. Dispositivo y Modelado; el Microsensor Infrarrojo; Materiales; Metodo Analitico Ecuacion de Eulerr-bernulli; Comportamiento Termomecanico; Esfuerzo Inducido Temicamente; Sensibilidad; Sensibilidad del Microcantilever; IV. Lector de Salida; Lector Piezorresistivo; Piezorresistividad; Geometria del Piezorresistor; Esfuerzo en el Plano de un Microcantilever; Polisilicio; Señal Minima Detectable; el Lector de Salida; Resolucion; Fuentes de Ruido; Esfuerzo en el Plano; Esfuerzo de Superficie; Esfuerzo de Superfice en un Cantilever de una Capa; V. Geometria, Trazado y Mascaras; Flujo del Proceso; VI. Diseño y Simulacion; Dimensiones y Desempeño Esperado; Dimensiones; Modelo de Elemento Finito; Propuesta Para una Mejor Sensibilidad; VII. El Sensor de Brazas; el Microcantilever Como Sensor de Brazas; Resumen de las Caracteristicas del Sensor; conclusiones UR - http://132.248.9.9:8080/tesdig/Procesados_2006/0605635/Index.html ER -